奖感言时,在GAD公司,张敬业和六名合伙人,第一次使用光线照射的方式,获得了第一块光刻集成电路。
他们发明了世界上第一台接触式光刻机。顾名思义,接触式光刻机,就是简单粗暴地将光掩模盖在硅片上,光掩模与光刻胶图层直接接触,再打光照射,直接曝光,类似于照相机。
然而这种光刻方式的失败率和成本都很高,一张光掩模最多只能用个十几次,所以,GAD生产的芯片价格往往非常高昂。
但是航天事业拯救了它,尽管GAD生产的集成电路,每块价值上千元,但对于航天事业来说,这不算什么——无论是人造卫星,还是太空飞船或者火箭,都需要运算速度更快、更小的电子计算机。
于是,靠着南洋航空航天局的支持,GAD公司生存了下来。
但是,作为公司创始人的张敬业,很清楚公司产品的弱点——太贵。即便是航空航天局,也嫌太贵了
“我们需要一种更好的光刻机,它应该可以提供更廉价的集成电路!”
在获得第二轮风险投资后,张敬业在招兵买马的同时,也开始了新的研究。
“蔡司工程师,什么时候到?”
在办公室里,张敬业有些焦切的问道。
“约的时间是上午十点。”
秘书回答后,张敬业先看了一下手表,然后点头说道:
“9点50的时候,你提醒我一下。”
随后,张敬业便翻看起了手中的资料,两年前,他们发明了接触式光刻机后,南洋又有几家公司开始从事这方面的研究。
他们的加入,在加剧竞争的同时,也推动了这个行业的发展。
为了提高生产效率,降低成本,工程师们在原有基础上进行了改进,加了可水平和垂直移动的平台,以及用来测量光掩模和硅片间距与套刻的显微镜,让光刻时两者尽量接近但又不直接接触,这就是渐进式光刻机。
经过改良后的光刻机避免了光刻胶玷污光掩模,但是却带来了新的问题,光具有波粒二象性,由于光的衍射效应,光刻机的精度下降了,光源波长越长,衍射现象也就越严重。除了受限于光的衍射效应,光掩模与光刻胶的距离也决定了光刻的精度,间距越大,硅片上的投影与掩膜上图形的误差也就越大。
而为了进一步改进光刻机,张敬业想到了蔡司公司,他们是光学仪器的行家,也许,他们能够给予一些建议,帮助公司走出眼下的困境。
就这样,翻着手中的资料,时间过的很快,在秘书的提醒下,张敬业到了楼下,这边刚走出电梯,蔡司工程师也到了。
“鄙姓徐,徐会川。”
徐会川自我介绍道,虽然他很年青,但却也是一名非常优秀的光学工程师,这也是公司派他过来的原因。
在简单的寒暄后,他们就一起走进了电梯,一进电梯,张敬业说向对方介绍着他的想法。
“我明白你的意思,就是尽量减弱光的衍射效应,嗯,我差不多明白了,这并不困难。”
作光学工程师的徐会川,人还没出电梯,差不多就明白了对方的想法,也知道如何解决这个问题。
张敬业诧异道:
“不困难吗?”
“应该很简单,实现它,应该很简单,就是通过光学镜片的组合,在投影过程中减弱光的衍射效应,这并不复杂,我基本上已经有了一个思路……”
走出电梯之后,徐会川就解释起了他的构想,他的构想其实并不复杂,事实上,大多数技术都是如此,在一开始的时候,其技术难度是非常低的,另一个世界甚至直到八零年代,由于光刻机在当时甚至不如照相机复杂,所以,光刻机生产厂商多达数十家,很多光学企业都参与其中,包括日本的尼康,尼康的初代光刻机在八零年推出时,出现了许多问题,但在多家企业的共同努力下攻克了技术问题,使得尼康在八二年能够向美国卖出高性能的光刻机,其稳定性和自动化程度甚至比GCA更加优异。到了八零年代末期,尼康和佳能便已经占据了70%的市场份额,而那会的ASML才于荷兰埃因霍温飞利浦办公室附近的漏雨厂棚里创立不久。
无论如何,很多技术一开始的时候,门槛是非常低的。
就像现在,仅仅只是三个多月之后,在徐会川和永宁蔡司多名工程师的共同努力下,他们为光刻机配置上了配套的光学镜头,研制成功了世界上第一台遮蔽式光刻机!
光,就这样,再一次悄无声息的得到了进一步的应用,光会把人类带到什么样的世界……无人知晓!
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