会议室里响起了翻阅纸张的声音，每一位在场的人都全神贯注地投入到了对这份珍贵资料的学习中。

    他们知道，这可能是他们一生中最重要的两个小时，每一个字、每一张图、每一个公式，都可能成为改变未来的关键。

    时间一分一秒地过去，120分钟的阅读时间，很快便走到了尽头。

    卿云轻声提醒了一句“时间到了”，国安人员立刻走上前来，对资料进行了回收。

    眼前的资料不过是个概述，而正式的资料，进组后才提供，这是规矩，大佬们都懂得起，自然不会有什么异议。

    但是他们依然恋恋不舍地望着被收起的文件袋，目光中满是复杂情绪。

    黎光楠他们知道，这些资料所蕴含的价值，远不止眼前所见的这些。

    而后，他们的目光不约而同地转向了台前的少年，等待着他的下一步发言。

    在这群人中，大王先生资历最老，江湖地位也最高。

    84岁的他首先开口，声音中透露出一丝亢奋，

    “小卿，有话直说，要怎么安排，怎么进行，你直接吩咐就是了。”

    大王先生的这句话，相当于代表在场的所有人进行了表态。

    卿云心中感激，他对着所有大佬鞠了一躬，然后看向了那位主持了前两代光刻机研发的徐端颐。

    “徐老，”卿云的目光中带着一丝期待，“您是浸淫此道多年的老前辈，我想请问您，有没有把握根据资料对浸润式光刻机进行研发？”

    徐端颐没有急着回答，他闭目思索了良久，会议室里的气氛也随着他的沉默而变得紧张起来。

    虽然他们都是搞这行的，但半导体是个庞大的系统工程，术业有专攻，要说起光刻机的研发，还得看这位老爷子。

    终于，徐端颐缓缓睁开了眼睛，他的声音中带着一丝沙哑：“有把握，但是……这不解决根本问题。”

    此言一出，会议室里的气氛顿时凝重起来。在座的每一位都是半导体领域的专家，他们当然明白徐端颐所说的‘根本问题’指的是什么。

    表情怪异的黄令仪紧随其后的开了口，“小卿，这份资料非常的重要，对我们国家来说，完全可以说是无价之宝。

    但是……”

    徐端颐接过她的话头继续说着，“小卿，一台光刻机，我们进行拆分，大致分为光源系统、照明系统、投影物镜系统、双工件台系统、以及光罩与晶圆传输系统、调平调焦系统、对准系统七个子系统。

    光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率，这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。

    可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”

    他惋惜的叹了口气，“我的意思是，只有这套图纸，是不够的。我们差的……不是一点半点，甚至很多领域，我们的现状是近乎为零。

    坦率的说，给我图纸，给我一年半载，我能造出来，但没法用，你明白吗？”

    卿云闻言并没有什么气馁的神色。

    很正常，毕竟这群老头老太太们，不是和他一样都是重生的。

    他们一直在争气，却没那个解气的经历。

    徐端颐望着他，神色复杂的说着，“小卿，追光……光喊口号是没用的。技术、工艺受限，单单突破一点，是没用的。”

    云帝闻言，眼神毫不躲闪的，淡淡的说着，“老爷子，我明白的。我虽然年轻，但也没那么天真。”

    这个过程，他太清楚了。

    华国的第四代光刻机，最初便是如此。

    07年我们便达到了90nm，只是光学系统拉胯，别人见你做出来了，直接不卖配件让我们没法量产，直到十年后在国内各参与方通力合作才解决。

    虽然那是干式光刻机，对光学系统进口依赖严重，但当前的现状就是就算走浸没式，同样也会被别人封锁。

    因为正如徐端颐所言，很多领域就是一片空白，只能依赖进口。

    不过……

    云帝此时却笑了笑，“老爷子，这就是我们今天坐在这里来商讨的意义所在。

    我们今天讨论的纲领，就是从源头来解决这一切的。”

    说罢，他又打开了投影仪。

    此时的幕布上面，光刻机器七大子系统赫然出现在PPT中，甚至每个子系统又拆分成不同的细分系统。

    上面的绿色标明了哪些部件是可以国产的，而黄色部分则是哪些部件是现有技术下可以解决的，如光源，以前没有，是国内没人造光刻机，现在有人要造要用，自然是可以解决的。

    毕竟，论到玩激光，华国才是祖宗。

    甚至，单从光源来说，成创天院士的研发的KBBF晶体可以反向卡欧美的脖子，没有这玩意儿，根本就没有EUV光刻机。

    而这个晶体，成创天院士以一己之力硬生生的卡了欧美15年的脖子。

 

『加入书签，方便阅读』